
Carrier.R200,壓電陶瓷載物臺,旋轉運動,兼容高真空; 針對載物臺“大行程·高精度·重負載”需求的定制化解決方案。
Speed 系列高速壓電旋轉運動臺,兼容無磁高真空。 -旋轉最高速度達720 °/s -支持多種通訊接口; 支持模擬信號運動控制 -更快的單次伺服周期 & 更高的算法效率保障高速下的高精度 -無磁超高真空等特殊版本可選
Speed 系列高速壓電線性運動臺,兼容無磁高真空。 -直線最高速度達200 mm/s -支持多種通訊接口; 支持模擬信號運動控制 -更快的單次伺服周期 & 更高的算法效率保障高速下的高精度 -無磁超高真空等特殊版本可選
小尺寸壓電位移臺,兼容無磁高真空 ·光柵尺閉環控制,5nm最小步伐 ·300g級別重量負載 ·無磁超高真空等特殊版本可選
Force 系列大推力壓電閉環運動臺,兼容無磁高真空。 ·光柵尺閉環控制,5nm最小步伐 ·最大推力達60N ·無磁超高真空等特殊版本可選
FDU 系列大推力壓電運動模塊,兼容無磁高真空。 ·光柵尺閉環控制,5nm最小步伐 ·最大推力達100N ·無磁超高真空等特殊版本可選